实验室硬件标准

千级洁净实验室

Class 1000

受控洁净环境，确保颗粒度检测与化学分析过程不受环境二次污染。

自动化检测设备

自动化检测中心

配备高精度气泡点/扩散流测试仪，量化每一支滤芯的极限拦截能力。

失效分析设备

失效分析服务

针对拦截杂质进行成分鉴定，协助晶圆厂定位污染源头，优化洗净工艺。

核心检测服务

1. 滤芯完整性验证 (Integrity Testing)

严格执行离线/在线完整性测试，确保每一支滤芯都符合标准，杜绝缺陷上机。

2. 颗粒拦截效率评估

量化过滤前后的杂质分布，为客户提供直观的过滤效率对比数据。

检测服务展示

技术支持标准流程

1
工况调研

深入一线了解流量、压力及目标良率。

2
方案选型

基于实验室库，匹配最优膜材料或型号。

3
离线测试

在洁净室进行样件模拟并出具报告。

4
现场验证

协助客户上线试用，监控良率数据。